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第114章 赵阳的光刻机和第一枚芯片（第3页）

测试结果令人满意，各个模块的放大倍数和运算结果都符合设计预期，没有出现故障。

第一枚芯片的运作完全正常，这令赵阳由衷地欣喜。

接下来，他准备着手试制小批量芯片。

这需要进一步完善光刻工艺流程，确保可以稳定再现。

首先，他从加工车间选取了20块规格一致的晶圆，在每块晶圆上重复光刻工序，并逐一进行测试，记录关键参数。

这批晶圆的制造结果将用于评估工艺的稳定性和一致性。

同时，他需要确保光刻机的光源强度稳定，对准精度可控，而且要有尘粒过滤系统，不能让微尘影响芯片制造。

另外，各种腐蚀液的配比也要精确控制，腐蚀时间和温度都需要细致把握。

只有这样，才能保证每片芯片的质量一致可靠。

经过反复试验与统计，选定了一套可靠的制程流程，以及对应的设备参数设置。这样，就可以正常批产同样设计的芯片了。

首先，20块晶圆在清洗舱内用氢氟酸溶液清洗，然后在淀积室内依次进行二氧化硅和铝的化学气相沉积。

接下来，将设计电路制作成的掩膜板置于光刻机顶端，启动光刻曝光。

经过显影后，进行干法和湿法蚀刻，最后进行掺杂链接。

如此这般，一批数量有限的芯片就制造出来了。

赵阳将这些芯片小心翼翼地放入传感器进行测试，全部达到了要求。

随后，他取出一片芯片放在实验板上进行功能验证，结果也完全正常。

由此可以判定，这套制程流程已经成熟，可以进行小规模复制生产了。

获得第一批量产的芯片，赵阳既兴奋又紧张。

这批芯片的用途至关重要，它们将改变这个国家的工业面貌。

他计划先运用这批芯片，试制一台简易的数控机床和一个小型通用计算设备。

数控机床运用芯片控制，可以实现精确的程序化切削，大大提高加工效率和稳定性。

这将使机床从手工操作进入自动化时代，极大解放生产力。

计算设备则可以用于数据处理、模型仿真等，具有巨大应用前景。

赵阳已在脑中构想好这两台设备的结构方案，只待芯片的加入，就可实现电子控制部分。

……

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