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第73章 纳米工艺（第3页）

稳定性测试：长时间运行光刻机，监测设备的各项参数（如曝光剂量、对准精度等）是否稳定，确保在连续作业中性能不衰减。

重复性和再现性测试：在不同时间点、不同操作员操作下重复同一工艺步骤，评估结果的一致性，确保每次光刻都能达到相同的高精度。

套准精度测试，掩模对准与曝光测试，热稳定性与环境适应性测试，可靠性与耐用性测试，维护与故障恢复测试，兼容性测试等】

梁梦松在电话里面显得比较淡定，

见过大世面的就是不一样，

但是李现却是比较激动，要不是拍婚纱照走不开，李现还真想到现场去看看，亲手测试一下这个全国产化的第一台14纳米的光刻机。

“梁总，辛苦你们了，下一阶段开始之前，我让财务给你们拨款200万，带着团队出去玩吧，国内消费全额报销，”

“他们年轻人去吧，我就不去了，14纳米距离2纳米还有几个量级的差距，任务艰难啊”

显然，梁并不觉得14纳米的研发成功并不是一个很值得骄傲的事情，

毕竟相对比于2纳米的最终目标而言，14纳米显得有点小儿科了。

“不着急，长城不是一天搞定的，休息休息，身体是革命的本钱。”

掩模对准与曝光测试并不是最后一项测试，在之后还有几个测试，但是根据梁的阐述，基本上成功是板上钉钉的事情了。

既然这样，那就不应该捂盖子了，

当即李现就给集团的宣发部门打去电话，让他们重点关注一下。

集团的效率很高，

光子集团的官方微博，26号晚上开始正式对外发布消息，

国内拥有完全自主知识产权的14纳米光刻机已经研发成功，目前已经进入了测试的结尾阶段，很快就将和全国人民见面了。

消息一出，给全球的半导体行业来了一次核打击，

央妈第一时间来了三辆采访车，开到了东江的光子集团基地，

苏省省内的媒体，凤凰网，港媒以及其他外媒也是第一时间向这边赶来，

当天晚上20点，从实验室刚出来的梁，第一时间接受了央视的独家专访。

专访的片段在当天晚上十一点就已经出现在了互联网上。

张扬（记者）：“梁先生，又见面了，首先恭喜您和您的团队在如此关键的技术领域取得了如此重大的成就......上次跟您专访的时候还是28纳米研发成功的时候，如今......”

梁孟松（CTO）：“谢谢。确实，这是一段充满挑战与希望的旅程。......我们的团队从零开始，夜以继日地研究光学系统、精密机械、自动化控制等多个领域的尖端技术。我们深知，只有掌握核心技术，才能不受制于人。”

......

央视记者张扬：“在这个过程中，东江光子遇到了哪些最大的技术难题？又是如何克服的呢？”

梁：“诚然，光刻精度的极致提升构成了我们面临的至高无上的技术壁垒。14纳米节点，作为光刻工艺的前沿阵地，要求我们在亚波长光学操控及超稳态加工环境构建方面达到前所未有的高度。......深度融合了先进计算光学技术，采用迭代式的逆向传播算法，对光路系统进行了深度优化，确保了光能量的高效传输与精确聚焦。”

梁：“在此基础上，我们自主研发了一套集成了精密伺服驱动、微纳米定位......密运动控制系统，该系统能够在原子层级实现动态平衡与位置锁定，确保了无可挑剔的纳米级定位精度。我们还创新性地融入了多维度误差......通过集成机器学习模型预测并实时修正工艺偏差，从而在微观尺度上实现了前所未有的精度与稳定性平衡，这无疑是对光刻艺术的一次革命性诠释。”

......

与此同时，网民们又想起了前段时间阿斯曼总裁那句话，说赛博研发光刻机是在挑战国际科技规则。更是被国内网友们再次拿出来，并且优化成了好多段子，以此来揶揄阿斯曼的傲慢与无知。

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