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第1472章 光刻机二（第1页）

“致远，从薛工那里我知道你对光刻机非常感兴趣，巧的是在一九八五年，机电部四十五所就研制出了一台分布光刻机样机，而当时我在部里就负责这台光刻机的检测工作，对这方面的情况还是比较了解的……”听着吴部长的话，林致远的眼睛瞬间瞪大了，真是踏破铁鞋无觅处，得来全不费工夫，原来眼前的吴部长就是光刻机方面的行家。“吴部长，原来您就是光刻机专家呀！”“不，不！”吴部长连连摆手，“我只是负责检测工作，谈不上专家，不过四十五所的韩所长倒是跟我很熟，他就是分布式光刻机当时的研制者之一，他才能称得上是行家。”“韩所长？他现在人在哪里？吴部长，我想去拜访一下。”林致远确实有些激动。“呵呵，致远我看出来了，你确实是对光刻机比较感兴趣，你放心，人我已经帮你联系到了，老韩现在已经退休了，不过人就住在燕京，这样吧，我打个电话派人去接他，你们可以好好聊聊。”“那怎么行，我必须得登门拜访。”林致远很坚持，吴部长也不知道林致远为什么对光刻机这么执着，不过只要能把他人留在燕京就好，吴部长当即派了一辆车，让自己的秘书带着林致远去韩所长家里。韩所长的家住在海淀区学清路附近，是一片建于上世纪七十年代的老楼。吴部长的秘书姓黄，倒是比较熟悉这一片小区的历史，边走边给林致远介绍，“林助理，这里当初是老机电部的家属区，自从知道林助理对光刻机比较有兴趣之后，我陪部长来这里拜访过韩所长，韩所长是津门人，四十五所原来就是津门电子管厂，六十年代国家大搞三线建设，四十五所便搬到了甘省，三年前，四十五所在燕郊设立了一个分所。一九八五年，四十五所研制出了当时国内第一台分布式光刻机，韩所长及其研究团队立了功，这套住房就是当时奖励给他的……”“黄主任，韩所长今年多大年纪？”“过完年刚过七十，林助理，自从韩所长和部长见过面之后，听说您对光刻机很感兴趣，部里想要召开一个光刻机领域的研讨会，韩所长很激动，刚刚我给他打了电话，说是您要登门拜访，老所长很高兴，说是一直想见你，今天总算有机会了。”“其实我更想见一见韩所长，他们那个年代的老科学让人敬佩呀，在条件那么艰苦的情况下，还在坚持科研工作……”林致远突然想起了什么，“对了，黄主任，你看看路边有没有超市什么的，我去买点礼品，第一次上门总不能空手吧！”黄主任回头一笑，“放心吧，林助理，礼物都帮您准备好了，老所长不抽烟不喝酒，我就准备了点儿高档茶叶和新鲜水果，另外还有一些老年人需要的保健品，要是林助理觉得不够的话，咱们还可以再买一些。”这就是一个优秀秘书应该做的事，林致远很满意。两人提着礼品上了楼，韩所长的家住在三楼，很快，黄秘书就敲响了房门，几乎是敲门声响起的同时门就开了。一个头发花白的老者站在门口，迫不及待的问道：“小黄，你来了，林助理呢？”韩所长说的一口地道的津门话。“老所长，林助理就在我身后，您看！”黄秘书向身后一指，林致远恭恭敬敬的鞠了一个躬，“老所长您好，晚辈林致远上门打扰了。”韩所长看到林致远居然这么年轻，有些惊讶，但还是非常热情的把他们两个让到家里。韩所长的老伴儿一看也是位知识分子，很有礼貌的泡了茶，端上水果之后就把空间留给林致远和韩所长。韩所长很急迫，林致远刚刚坐下，他便问道：“林助理，我听部长说你对光刻机很感兴趣。”“是的，老所长，情况大概你也了解了，去年的时候，我在帮信息产业部做企业整合改制过程中，帮着他们研发了一款音乐便携式产品，目前在国外很受欢迎，在研发过程中我发现一个很严重的问题，就是大部分的电子元器件我们国内都无法生产，尤其是芯片和存储器……”林致远娓娓道来，这样铺垫才不会显得他对光刻机的狂热追求不那么突兀。“芯片……”韩所长叹了口气，“八十年代中后期就很少有人提及这个领域了，林助理，咱们国家其实在芯片和光刻机领域取得过不错的成就。1965年，咱们国家就研制出65型接触式光刻机，之后的研究一直没有中断过，1977年，我们研究出了第一台接触式光刻机GK-3型半自动光刻机，1980年，青华大学研制第四代分步式投影光刻机获得成功，光刻精度达到3微米，接近国际主流水平。1981年，神州科学院半导体所研制成功JK-1型半自动接近式光刻机。1982年，科学院109厂研制出了KHA-75-1光刻机，这些光刻机在当时的水平均不低，最保守估计跟当时最先进的canon相比最多也就不到4年差距。1985年，我们所研制出了分步光刻机样机，这也是咱们国家第一台分步投影式光刻机，当时与国外的差距不超过7年。”韩所长的声音变得越来越低沉，“只可惜进入九十年代后，我国光刻机光源长时间被卡在193纳米无法进步，这个技术非常关键……而且在八十年代，我国和花旗国的关系得到改善，很多过去对我们限制的高科技产品，现在都可以卖给我们了，国外的光刻机产品，性价比远高于自我研发，我国光刻技术的研发和产业化实质上放弃了自主攻关。”韩所长说起这些，唏嘘不已。“韩所长，那您认为咱们现在重启光刻机项目还来得及吗？最大困难在哪里？”林致远听老所长如数家珍说着这些，就知道自己这趟没白来。

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